先說什么是無塵室，無塵室就是把壓力，溫度，濕度，氣流的分布和塵埃還有速度，控制在一定范圍內(nèi)的一個空間 。
而關(guān)于他等級標準是依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。 分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，無塵室的等級是用在一定塵粒的尺寸的級數(shù)來表示的。制 造集成電路所需要的無策劃你是的潔凈度就必須高于1000級，聯(lián)邦規(guī)格的等級中Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空 氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。比如說：等級10是指空氣中俺有10個0.5以下 的時候。自然界大氣中一般含有的微粒是在300000到30000000個。
在jis的標準下，無塵室的潔凈度有8個等級，也就是說：在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以 下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3，一次類推。而一般潔凈度就是指空氣的潔凈等 級。
無塵室是一個人造的環(huán)境，也是指無塵室里面所帶的塵埃是遠遠低于一個一般的環(huán)境的。無塵室的建立在，最尖端 的產(chǎn)業(yè)發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革二十一世紀的的今天的必要性也是在提高的。由于現(xiàn)在商品質(zhì)量的高要求，還 有就是塵埃和溫度濕度對產(chǎn)品的威脅的情況下，無塵室的要求也日益增加，因此，無塵室內(nèi)的材料也是相當重要的 。隨著集成電路技術(shù)的增加，在凈化工程當中，無塵室的潔凈度的要求也是越來越高的，就算在工業(yè)上，小于0.1微 米的策劃乃也會影響產(chǎn)品的生產(chǎn)和運行。
無塵車間也是可以說是無塵室，是指字將空氣中的微粒子，有害空氣，細菌等一些污染物，還有溫度濕度，壓力控 制在一定范圍內(nèi)的一個特設的房間內(nèi)。不管是在外界的空氣的條件如何變化，室內(nèi)都要維持原先設定的潔凈度，溫 度濕度的一些特性。而無塵車間就是為了控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度和溫度濕度，讓產(chǎn)品處在一個良好的環(huán)境 當中生產(chǎn)制造。
而他的聯(lián)邦(美國聯(lián)邦標準( USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3)標準中，潔凈度的級別分為六個等級 ，分別是1,10,100,1000,10000,10000,100000。中國藥品生產(chǎn)車間的空氣潔凈度級別的標準分為四個等級，分別是 ：100,10000，100000，300000。無塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001。空氣的潔凈度的標準 級別分為9級
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